熊本の「半導体洗浄工場」稼働

2025年11月04日

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フェローテック

フェローテックの熊本工場（熊本県大津町）

　半導体製造装置の部品生産などを手掛けるフェローテック（東京）は10月30日、熊本県大津町の熊本工場が竣工したと発表した。熊本ではTSMC（台湾積体電路製造）など半導体産業が集積しており、新工場では半導体製造装置の部品の洗浄などを行う。国内では同社初の洗浄工場で、投資額は約100億円。
　新工場は2階建てで、延べ床面積は約1万4000平方メートル、敷地面積は約3万平方メートル。クリーンルーム（約480平方メートル）を備え、半導体製造装置の部品洗浄や修理、メンテナンスなどを手掛ける。従業員は56人で、2028年には約200人に増やす計画。当初は半導体向けの石英製品を生産する工場も敷地内で建設する計画だったが、生産体制の見直しに伴い中止するという。