半導体製造装置「新開発棟」完成

2025年10月20日

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東京エレクトロン九州

東京エレクトロン九州の新開発棟（熊本県合志町）「出典：東京エレクトロン」

　半導体製造装置で国内最大手の東京エレクトロンの生産子会社、東京エレクトロン九州（熊本県合志町）は10月15日、同社敷地内で新たな開発棟の竣工式を開いた。九州での新棟は20年ぶり。生成人工知能（AI）や自動運転の普及を見据え、次世代技術の開発・研究体制を強化する。来春の稼働を予定している。
　施設は4階建てで、延べ床面積は約2万7000平方メートル。製造装置を複数台設置できる大型のクリーンルームを備え、開発能力を4倍に高める。回路線幅が1ナノメートル（ナノは10億分の1）以下の次世代半導体への対応も進める方針。当初は昨年秋の完成を見込んでいたが、設計仕様の見直しなどで完成が遅れた。資材価格の高騰もあり、建設費は当初計画の約1.5倍となる約470億円に膨らんだ。