熊本の「半導体向け複合拠点」完成

エア・ウォーターグループ熊本事業所(熊本県大津町)

 産業ガスのエア・ウォーター(大阪市)は5月27日、半導体関連事業のグループ複合拠点「エア・ウォーターグループ熊本事業所」(熊本県大津町)を開所した。同社は産業ガスや医療機器、物流サービスなどのグループ会社があり、半導体関連に特化した事業所は初めて。投資額は約11億円。
 熊本事業所の敷地面積は約3万4000平方メートル。事務所棟のほか、半導体向けの一般物や毒劇物、危険物の倉庫を設置。半導体製造に必要なガス・ケミカルや薬液の供給基地となるほか、各種装置のメンテナンス、営業や技術、物流などの機能を集約した。当初は2024年夏に稼働予定だったが、24年7月に着工した。将来的に窒素ガスなどの産業ガス製造プラントを建設し、周辺の半導体製造工場などに供給することも視野に入れる。